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布魯克斯 Brooks 智能低溫泵系統
更新時間：2016-05-16 點擊次數：1822次
ON-BOARD® IS CRYOPUMP SYSTEMS
新型智能低溫泵系統
領導的低溫真空技術，On-Board IS低溫泵系統利用布魯克斯的新型低溫真空技術，提供的真空性能和抽氣效率。
產品優勢：
1. 專門為離子植入制程所設計的新一代智能型低溫泵系統。
2. 的分布式監控系統及個別調整低溫泵功能，以維持系統*的真空效能，提供制程所需的的一致性。
3. 快速再生系統和可同時控制多組低溫泵。
4. 節能設計,不需消耗太多能源和冷卻水－仍可以提供*的真空性能。
5. 安裝容易，使用方便。
6. 加強型GOLDLink軟件提供遠程監測預防和預測性維護。
7. 只要付出zui少的成本即可擁有zui高正常運行時間，zui高的生產率，zui低的整低溫泵系統。
8. Helix服務和支持。
