服務熱線:手機號碼:19121166298
地 址:上海市北京東路668號科技京城東樓27樓C1室
布魯克斯 Brooks 智能低溫泵系統
更新時間:2016-05-16 點擊次數:1822次
ON-BOARD® IS CRYOPUMP SYSTEMS
新型智能低溫泵系統
領導的低溫真空技術,On-Board IS低溫泵系統利用布魯克斯的新型低溫真空技術,提供的真空性能和抽氣效率。
產品優勢:
1. 專門為離子植入制程所設計的新一代智能型低溫泵系統。
2. 的分布式監控系統及個別調整低溫泵功能,以維持系統*的真空效能,提供制程所需的的一致性。
3. 快速再生系統和可同時控制多組低溫泵。
4. 節能設計,不需消耗太多能源和冷卻水-仍可以提供*的真空性能。
5. 安裝容易,使用方便。
6. 加強型GOLDLink軟件提供遠程監測預防和預測性維護。
7. 只要付出zui少的成本即可擁有zui高正常運行時間,zui高的生產率,zui低的整低溫泵系統。
8. Helix服務和支持。

